常温下SF6气体是非常稳定的，但水分较多时，200°C以上就有可能产生分解，分解的生成物中有氢氟酸，是一由很强的腐蚀性和剧毒的酸类，水分的危害更主要的是在电弧高温作用下SF6气体分解过程中所引起的化学反应，化学反应中最后的生成物也都是随水分含量增大而增加。为了限制有毒物质的生成量，必须限制SF6气体中的水分含量。

水分对绝缘的影响，绝缘件表面出现凝露会对绝缘性能带来不利影响。通常气体中混杂的水分以水蒸气形式影响。在温度骤降时，可能冷凝成露水附在绝缘件表面，出现沿面放电事故。